我的一九八五第一八二六章 不要轻视尼康公司

“董事长尼康方面要是请我们帮忙为DSP-100升级双工作台系统我们是否答应？” 去年2月尼康方面花钱请BSEC为NSR-S308F干式光刻机升级相匹配的双工作台系统。

在攻克193nm波长的世界性光学难题上BSEC、GCA和ASML最后走的是134nm波长的浸润式技术Nikon和Canon走的是157nm波长的干式技术。

按照当初同尼康公司签订的授权技术专利的许可合同BSEC没有责任和义务专门为尼康公司的NSR-S308F干式光刻机升级相匹配的磁悬浮式双工作台系统。

孙董事长没有同意！ “魏总不要答应！” “好的董事长！” 1993年7月在孙健的“指引”下邓国辉院士挂帅钟德伟教授和夏季常教授担任副组长的联合攻关组研制成功为光刻机配套的世界首套磁悬浮式双工作台系统（包括硬件和软件）原理是二个平台交替工作一个平台在做晶圆曝光时另一个平台做量测、矫正等后续任务然后二个平台交换位置整个过程在一个小时内重复225次能提高晶圆生产效率35%这项世界首创的发明专利属于前世三大光刻机核心专利技术之一。

通过多次升级如今一个小时内达到了285次。

孙健没有藏着掖着BSEC当时对外公开承诺等拿到公司发明专利后向全球光刻机公司许可技术专利。

在18个月的漫长等待后1995年2月BSEC获得欧美、日本和韩国等国专利局授予的公司发明专利后按照当初的承诺分别同ASML、Nikon和Canon等签订许可合同授权技术专利；专利使用费相当于每台光刻机售价的1%。

从此BSEC有了名气也有了吃饭的本钱！ 精明的孙健不会做一锤子买卖！ BSEC当初没有向尼康等公司转让这项技术专利专利权仍归BSEC所有被授权人仅获得在约定范围内使用该专利的权利。

许可合同规定由BSEC统一升级。

许可合同还规定被授权人未按时支付专利使用费、私自升级等侵权行为和违反使用范围约定等情况BSEC有权按照许可合同约定收回专利授权。

1993年8月GCA同BSEC签订了磁悬浮式双工作台系统专利和ArF准分子激光器专利互换协定都有对方软件的源代码可以自行升级GCA不需要支付双工作台的专利使用费。

GCA多次升级的双工作台系统专利还属于BSEC所用。

孙健从夏季常院士的口中得知双工作台的核心技术是如何精准控制、加速度、避免震动、避免发热等方面？ 1996年9月ASML也研发成功全球第二种双工作台技术如今还落后BSEC二代ASML量产的TWINSCAN NXT 1400i上使用还是BSEC许可的最新一代磁悬浮双工作台系统。

前世ASML就是靠自己独创的光刻机双工作台技术和浸没式光刻机打败了全球光刻机老大尼康公司！ EUV光刻机锦上添花完胜尼康公司。

前世ASML没有许可光刻机双工作台技术给尼康公司使用人才济济的尼康公司在孙健重生前也没有研发成功光刻机双工作台技术可见双工作台技术的难度被称为光刻机三大核心技术之一名望所归。

重生前孙健在网络上看到华清一名教授领导的团队研发成功全球第二种光刻机双工作台打破了ASML在工作台上的技术垄断。

在公司核心技术专利的许可上孙健被全球公认最开明、没有成见的企业家之一。

孙健经常告诉众人不要轻视尼康公司！ 2001年11月初EUV LLC联盟证明了制造EUV光刻机在理论上的可行性。

2004年5月GCA EUV光刻机公司研发成功一台EUV激光器和一台EUV光刻机原型机。

EUV激光器和EUV光刻机原型机在全球引起极大的轰动阻碍全球半导体产业发展的技术瓶颈被美国科学家攻克。

一般人不知道以尼康和佳能为首的日本半导体公司也在紧锣密鼓的研发EUV光刻机。

很少人知道EUV光刻技术最早起源于20世纪80年代中期的日本！ 1985年时任日本电信巨头NTT研究员的木下博夫(Hiroo Kinoshita)搭建了世界首台EUV光刻实验装置成功地蚀刻出了4um的图案这是人类历史上首次使用EUV进行光刻同时这张图片也是人类历史上第一张EUV光刻图像。

木下博夫前世被公认为是EUV光刻技术的奠基人。

1986年木下博夫在日本应用物理学会的一次会议上报告了他的成就但当时他的演讲遭到高度怀疑。

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